内部控制审计的程序通常包括以下步骤：
1. 规划阶段：确定审计目标、范围和目标，了解被审计实体的业务活动和内部控制环境。
2. 风险评估：评估被审计实体的风险，确定可能存在的内部控制风险，并确定重要的控制活动。
3. 内部控制测试：根据风险评估结果，设计内部控制测试程序，测试内部控制的有效性和运作情况。
4. 数据分析：通过数据分析工具和技术，对被审计实体的财务数据和业务活动进行分析，发现异常或潜在的风险。
5. 文件审查：审查被审计实体的内部控制文件、政策、程序和记录，确认其符合法规要求和公司政策。
6. 沟通和报告：与管理层和审计委员会沟通审计发现和建议，撰写审计报告，提出改进建议和建议。

以上步骤是内部控制审计的一般程序，具体的步骤和方法可能会根据实际情况和审计标准的要求而有所不同。